潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)

國家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001

美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(USA Federal Standard)209E(1992年)

1m3=35.3ft3。

對照我國標(biāo)準(zhǔn)及美國標(biāo)準(zhǔn)可以看出，我國的3級標(biāo)準(zhǔn)與美國的1級標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)。從而可以看出隨著半導(dǎo)體行業(yè)從um量級向nm量級發(fā)展的過程中，潔凈室等級要求也越來越高。但目前半導(dǎo)體行業(yè)中普遍采用的均為千級（6級）或萬級（7級），只有局部區(qū)域的高自動化作業(yè)才要求百級（5級）甚至更高。